對于凈化車間來說，防止儀器設(shè)備被污染是重要的管理內(nèi)容，當(dāng)設(shè)備被污染后，這些被污染的設(shè)備會讓產(chǎn)品也被污染，所以我們必須防止凈化車間內(nèi)的設(shè)備被污染，下面華盛興邦就談下凈化車間中的設(shè)備怎么防止污染。

一、生產(chǎn)工藝設(shè)備的防污染管理

在凈化車間內(nèi)產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，生產(chǎn)設(shè)備的塵粒污染是不可忽視的。據(jù)資料介紹，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)過程中生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)塵量要占總微粒污染量的30％左右，可見其影響之大。污染的類型除了影響制作微細(xì)圖形的微塵污染外，還有可使器件特性惡化的鈉、鉀等堿金屬和銅、鐵等重金屬的分子或分子級污染。所謂生產(chǎn)設(shè)備的污染，雖然有的是生產(chǎn)工藝固有的污染，但是還有源于設(shè)備制作材料、生產(chǎn)過程中的原輔材料（包括反應(yīng)氣體、輸送氣體、吹掃氣體和清洗用純水等）、工器具使用不當(dāng)和機(jī)械運動及其潤滑劑等的各類污染，還有在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中由于操作失誤造成的不應(yīng)有污染。各種凈化車間內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)的實踐表明，加強凈化車間內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程中生產(chǎn)工藝和設(shè)備的管理，的確是降低室內(nèi)污染程度，提高產(chǎn)品質(zhì)量的重要措施。要十分認(rèn)真細(xì)致地觀察凈化車間內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備在運轉(zhuǎn)過程中可能發(fā)塵的情況，特別是運輸裝置、運動部件、機(jī)械手等可能的污染源，還有各類泵、風(fēng)機(jī)等的電動機(jī)內(nèi)部軸承之間的摩擦，并針對這些污染源的情況制訂相應(yīng)的管理措施和必要的對策。

二、生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具的防污染管理措施

以大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用凈化車間為例:生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具的防污染管理措施中較徹底的方法是實現(xiàn)生產(chǎn)過程自動化，不再采用手工操作方式運送硅片，不再用鑷子進(jìn)行硅片的裝送，以杜絕設(shè)備、工器具和人身帶來的污染。同時，隨著硅圓片直徑的不斷增大，人工操作已不能適應(yīng)工藝生產(chǎn)要求，所以全面實現(xiàn)自動化操作已不僅是改善生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈度的需要，而且與改善企業(yè)的經(jīng)濟(jì)利益密切相關(guān)了。

又例如某硅片自動化輸送系統(tǒng)，由一種或數(shù)種生產(chǎn)工藝設(shè)備組成微環(huán)境加工區(qū)，將這些加工區(qū)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求進(jìn)行組合形成產(chǎn)品生產(chǎn)流水線，在兩個加工的交接點上設(shè)置儲料器，用它來緩沖由于生產(chǎn)工藝設(shè)備生產(chǎn)速度不同、單片處理和分批處理的不同以及其他原因造成的物流不平衡。設(shè)置儲料器后，加工區(qū)之間的輸送就成為儲料器之間的輸送，加工區(qū)內(nèi)的輸送則為儲料器與生產(chǎn)工藝設(shè)備之間、生產(chǎn)工藝設(shè)備與生產(chǎn)工藝設(shè)備之間的傳送。潔凈廠房設(shè)計時，應(yīng)根據(jù)建筑平面與空間、人員通行與操作、生產(chǎn)設(shè)備的移動與維護(hù)以及公用動力設(shè)施和管線等的實際情況進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)，選擇不同的方式、不同的布置。