在凈化車間設(shè)計(jì)中，微環(huán)境設(shè)計(jì)是現(xiàn)在比較受歡迎的一種形式。所謂微環(huán)境就是利用物理屏障將關(guān)鍵的生產(chǎn)區(qū)域加以隔離，免遭污染，并為其提供質(zhì)量最好的空氣。而隔離區(qū)域以外的其他區(qū)域，獲得的空氣質(zhì)量可以不如微環(huán)境那樣好，參見圖所示。

凈化車間的微環(huán)境也是一種隔離裝置，是隔離技術(shù)在工程中的具體應(yīng)用。

圖5-34是不帶微環(huán)境的常規(guī)潔凈室設(shè)計(jì)圖。在潔凈室中，在工作人員將硅晶片從一個設(shè)備移到另一個設(shè)備的地方，系統(tǒng)提供了大量的單向流空氣，以保證最好的空氣條件（即圖5-34中的白色部分，ISO3級水平）。用隔板與設(shè)備隔開的服務(wù)區(qū)，則提供質(zhì)量較低的空氣（即圖5—34的陰影部分，ISO6級水平）。

圖5-35是使用了微環(huán)境的設(shè)計(jì)圖。由微環(huán)境提供最高質(zhì)量的環(huán)境條件（圖中白色部分，要求為ISO3級），而在生產(chǎn)區(qū)和服務(wù)區(qū)均只提供了質(zhì)量較低的空氣（圖中陰影部分，要求為ISO6級或更差些）?？梢钥闯觯@種使用了微環(huán)境的設(shè)計(jì)可以大大降低整個系統(tǒng)的送風(fēng)量，既保證了工藝區(qū)域要求的空氣潔凈度，又降低了能量消耗。在整個半導(dǎo)體設(shè)施的SMIF執(zhí)行區(qū)域，從潔凈空間體積的縮小和能量節(jié)省來看可能是最為要緊的。