對于食品工廠設(shè)計(jì)裝修來說,潔凈室的高效過濾器決定了潔凈室的潔凈度,在潔凈室驗(yàn)收的時(shí)候,高效過濾器是必須要經(jīng)過檢漏程序的,下面成都凈化工程公司就給大家介紹下食品工廠設(shè)計(jì)裝修中潔凈室高效過濾器檢漏。
高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn)檢測(如DOP試驗(yàn)等),并提供合格證(含性能試驗(yàn)結(jié)果)對于5級(100級)以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現(xiàn)場應(yīng)再次進(jìn)行高效過濾器本體的性能檢測。同時(shí)也要為確認(rèn)高效過濾器的正確安裝狀態(tài)進(jìn)行泄漏試驗(yàn)。而在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中(如0.1μm,1級),由于新風(fēng)量往往僅是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾,經(jīng)過稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級(1000級)的程度,因此,在這種情況下,就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗(yàn)。
一、檢測要求
①一般采用粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行檢漏,被檢高效過濾器必須已檢測過風(fēng)量,并在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%~120%之間運(yùn)行。
②對于被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合如下要求。
·對受控粒徑≥0.5μm的濃度,必須大于等于3.5×104pc/L;
·對受控粒徑≥0.1μm的濃度,必須大于等于3.5×106~3.5×107pc/L
二、檢測方法
采用掃描法對高效過濾器的安裝接頭和主段進(jìn)行檢查.檢測點(diǎn)距被測表面20~30 mm,測量頭以5~20 mm/s的速度移動(dòng),對待檢測的過濾器的全斷面、密封頭和安裝框架進(jìn)行掃描。
三、檢測設(shè)備
1、光散射粒子計(jì)數(shù)器,其工作原理是利用空氣中粒子的散射現(xiàn)象發(fā)光,將采樣空氣中粒子的光脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電脈沖信號(hào)來確定粒子數(shù),利用粒子的光散射強(qiáng)度與粒子大小平方的關(guān)系來測量粒子大小。儀器一般由氣路系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。國產(chǎn)的Y09等系列粒子計(jì)數(shù)器,進(jìn)口的Royco--245粒子計(jì)數(shù)器均屬于此類粒子計(jì)數(shù)器
2、激光粒子計(jì)數(shù)器,其工作原理與光散射粒子計(jì)數(shù)器基本相同,但由于使用了比光散射粒子計(jì)數(shù)器強(qiáng)100倍的He-Ne激光源,粒子大小的探測范圍為0.1M。
3、本發(fā)明涉及一種凝聚核粒子計(jì)數(shù)器,其特點(diǎn)是利用飽和蒸汽將細(xì)粒子凝聚成大直徑的細(xì)顆粒,并進(jìn)行顆粒濃度測量。對空氣中的顆粒物進(jìn)行取樣,通過溫度為35℃的飽和管,然后在溫度為10℃的冷凝管中被介質(zhì)液體冷凝,直到可以檢測到散射光的顆粒大小。其它部分與一般光散射粒子計(jì)數(shù)器相同。