凈化車間的凈化空調(diào)系統(tǒng)一般可分為集中式和分散式兩種類型。集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)是凈化空調(diào)設(shè)備（如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效過濾器、風(fēng)機等)集中設(shè)置在空調(diào)機房內(nèi),用風(fēng)管將潔凈空氣送給各個潔凈室。分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)是在一般的空調(diào)環(huán)境或低級別凈化環(huán)境中,設(shè)置凈化設(shè)備或凈化空調(diào)設(shè)備,如凈化單元、空氣自凈器、層流罩、潔凈工作臺等。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,尤其是半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)的迅猛發(fā)展,對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求越來越高,現(xiàn)今的超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)要求控制空氣中的0.05μm的微粒濃度和分子級污染物,因此潔浄室的送風(fēng)方式發(fā)生了很大變化,在半導(dǎo)體芯片工廠或類似生產(chǎn)過程要求高潔凈度的潔凈廠房中,其凈化空調(diào)系統(tǒng)采用循環(huán)空氣方式,其循環(huán)方式主要有集中方式、隧道方式、風(fēng)機過濾單元(FFU)方式和微環(huán)境+開放式潔凈室方式等。這些送風(fēng)方式既可滿足高潔凈度要求,還可以不同程度地降低能量消耗。

一、集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)

1、單風(fēng)機系統(tǒng)和雙風(fēng)機系統(tǒng)

單風(fēng)機系統(tǒng)的最大優(yōu)點是空調(diào)機房占用面積小。但相對雙風(fēng)機系統(tǒng)而言,其風(fēng)機的壓頭大,噪聲、振動大。采用雙風(fēng)機可分擔(dān)系統(tǒng)的阻力,此外,在藥廠等生物潔凈室,潔凈室需定期進行滅菌消毒,采用雙風(fēng)機系統(tǒng)在新風(fēng)、排風(fēng)管道設(shè)計合理時,調(diào)整相應(yīng)的閥門,使系統(tǒng)按直流系統(tǒng)運行,便可迅速帶走潔凈室內(nèi)殘留的刺激性氣體。

2、風(fēng)機串聯(lián)系統(tǒng)和風(fēng)機并聯(lián)系統(tǒng)

在凈化空調(diào)系統(tǒng)中,通常空氣調(diào)節(jié)所需風(fēng)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于凈化所需風(fēng)量,因此潔凈室的回風(fēng)絕大部分只需經(jīng)過過濾就可再循環(huán)使用,而無需回至空調(diào)機組進行熱、濕處理。為了節(jié)省投資和運行費,可將空調(diào)和凈化分開,空調(diào)處理風(fēng)量用小風(fēng)機,凈化處理風(fēng)量用大風(fēng)機,然后將兩臺風(fēng)機再串聯(lián)起來構(gòu)成風(fēng)機串聯(lián)的送風(fēng)系統(tǒng)。

當(dāng)一個空調(diào)機房內(nèi)布置有多套凈化空調(diào)系統(tǒng)時,可將幾套系統(tǒng)并聯(lián),并聯(lián)系統(tǒng)可共用一套新風(fēng)機組,并聯(lián)系統(tǒng)運行管理比較靈活,幾臺空調(diào)設(shè)備還可以互為備用以便檢修。

設(shè)有值班風(fēng)機的凈化空調(diào)系統(tǒng)也是風(fēng)機并聯(lián)的一種形式,所謂值班風(fēng)機,就是系統(tǒng)主風(fēng)機并聯(lián)一個小風(fēng)機。其風(fēng)量一般按維持潔凈室正壓和送風(fēng)管路漏損所需空氣量選取,風(fēng)壓按在此風(fēng)量運行時送風(fēng)管路的阻力確定。非工作時間,主風(fēng)機停止運行而值班風(fēng)機投入運行,使?jié)崈羰揖S持正壓狀態(tài),室內(nèi)潔凈度不至于發(fā)生明顯變化。

二、分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)

1、在集中空調(diào)的環(huán)境中設(shè)置局部凈化裝置(微環(huán)境/隔離裝置、空氣自凈器、層流罩潔凈工作臺、潔凈小室等)構(gòu)成分散式送風(fēng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)。也可稱為半集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)。

2、在分散式柜式空調(diào)送風(fēng)的環(huán)境中設(shè)置局部凈化裝置(高效過濾器送風(fēng)口、高效過湛

器風(fēng)機機組、潔凈小室等)構(gòu)成分散式送風(fēng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)。