為保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室設計所要求的空氣潔凈度,要采取多種綜合技術(shù)措施才能達到要求。這些綜合技術(shù)措施包括：采用污染物較少的生產(chǎn)工藝和設備，或采取必要的隔離和負壓措施，防止生產(chǎn)過程產(chǎn)生的污染物向周圍擴散，采用粉塵少、微生物少的室內(nèi)裝飾材料和工具，減少人員和材料帶入室內(nèi)的污染物，保持生產(chǎn)環(huán)境相對于室外的清潔或空氣質(zhì)量要求低的相鄰房間應有一定的正壓防止室外或相鄰房間通過門窗或其他縫隙、孔洞攜帶污染物；加強潔凈室管理，按規(guī)定進行清潔消毒。
除上述技術(shù)措施外，為了將生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室的室內(nèi)環(huán)境控制在要求的空氣潔凈度水平，重要的技術(shù)措施是送足夠的經(jīng)處理的潔凈空氣，以代替或稀釋正常生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污染物污染的空氣房間的操作。潔凈室的空氣凈化處理是指根據(jù)房間不同潔凈度等級的要求，以不同方式處理的潔凈空氣以不同的方式送出，并將相應數(shù)量的受室內(nèi)產(chǎn)生的污染物質(zhì)污染的臟空氣排出，使?jié)崈羰覄討B(tài)平衡，使室內(nèi)環(huán)境保持在所需的空氣潔凈度水平。通常所指的空氣污染物質(zhì)主要有以下三類。
①懸浮在空氣中的固態(tài)、液態(tài)粒子;包含附著在粒子上的分子污染物
②霉菌、細菌等懸浮在空氣中的微生物
③各種對人體或生產(chǎn)產(chǎn)品有害的氣體。
根據(jù)空氣中含有的污染物質(zhì)不同,采用相應的凈化處理方法,空氣中主要污染物質(zhì)的凈化方法如表1所列。
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污染物類別 |
主要凈化方法 |
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懸浮微粒 |
過濾法、洗滌分離法、靜電沉積法、重力沉降法、離心力和慣性力分離法 |
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細菌等微生物 |
過濾法、紫外線殺菌法、消毒劑噴霧法、加熱滅菌法、臭氧殺菌法、焚燒法等 |
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有害氣體、化學污染物 |
吸附法、吸收法、過濾法、焚燒法、催化氧化法等 |
目前潔凈室對送入空氣的凈化方法,最重要和使用最廣泛的方式是空氣過濾法。送入潔凈室的清潔空氣,主要是靠在送風系統(tǒng)的各部位設置不同性能的空氣過濾器,用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。近年來,根據(jù)一些工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)的微細化、精密化和高純要求,還需去除空氣中濃度極微的化學污染物或分子污染物,如超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)、生物制品的生產(chǎn)等。為此,在潔凈室的送風系統(tǒng)應增設各種類型的化學過濾器、吸附過濾器、吸收裝置等。