電子工業(yè)潔凈室常根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全地排除。下面筆者就談下電子廠潔凈車間防靜電設(shè)計(jì)。

在進(jìn)行電子廠潔凈車間設(shè)計(jì)時(shí)首先要明確控制的靜電電位，該值≤100V為一級(jí)，≤200V為二級(jí)，≤1000V為三級(jí)，其適用場(chǎng)所分別是半導(dǎo)體器件、集成電路和具有一級(jí)靜電敏感的電子產(chǎn)品制造和測(cè)試場(chǎng)所；對(duì)靜電敏感的精密電子儀器和器件制造和測(cè)試場(chǎng)所；除去一、二級(jí)以外的電子器件和整機(jī)的組裝調(diào)試場(chǎng)所。

在潔凈室設(shè)計(jì)中為了減少靜電事故，除了產(chǎn)品本身的保護(hù)措施外，設(shè)計(jì)者的責(zé)任就是設(shè)法減小起電程度。減小起電程度并加速電荷的泄漏，可以通過物理的和化學(xué)的方法實(shí)現(xiàn)。物理方法有選擇合適的材料、接地和調(diào)節(jié)空氣濕度。

1、材料分三種類型：導(dǎo)電材料、靜電耗散材料和抗靜電材料。表面電阻率低于每單位面積105歐姆，是導(dǎo)電的材料；每單位面積達(dá)到106~109歐姆，是靜電耗散的材料；每單位面積達(dá)到1010歐姆~1014歐姆，是抗靜電的材料。

如果器件已獲得電荷，并與高電導(dǎo)率的已接地表面相接觸，該電荷將迅速排掉，使電流水平可能達(dá)到足夠高，以致可損害該器件可采用靜電耗散材料來減慢放電速率，以減少過快放電帶來的損害?？轨o電材料則具有低靜電產(chǎn)生能力，也可比較慢地排掉電荷。

2、接地是消除導(dǎo)體上靜電荷的一種有效方法這種方法簡(jiǎn)單、可靠，不需要很大的費(fèi)用。接地必須符合安全技術(shù)規(guī)程的要求。

即使已采用了其他防靜電的方法，工作點(diǎn)的工藝設(shè)備、試驗(yàn)和測(cè)量設(shè)備的所有金屬和導(dǎo)電的非金屬部分仍都必須接地。

防靜電的接地裝置和電氣安全接地裝置應(yīng)連接在一起。對(duì)于坐著進(jìn)行操作的人員，建議穿抗靜電工作服，人體通過抗靜電工作服和抗靜電坐墊接地。

3、調(diào)節(jié)濕度法是降低起電程度的簡(jiǎn)單方法之一，是將生產(chǎn)車間中空氣的相對(duì)濕度提高到65％~70％。此時(shí)大多數(shù)介質(zhì)面層的表面上都凝聚有一層厚厚的水膜。水膜中常含有大量溶解物質(zhì)的離子，因而介質(zhì)的表面電導(dǎo)率隨濕度的提高而提高。提高濕度尤其能使衣服纖維材料的起電性能降低。

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