高效過濾器泄漏的測試是凈化車間測試中最復(fù)雜、最耗時(shí)間的項(xiàng)目。泄漏測試的目的是要確認(rèn)濾網(wǎng)的材料是否破損，安裝是否恰當(dāng)。過濾器出廠前已經(jīng)進(jìn)行過泄漏測試，但是在搬運(yùn)與安裝過程中難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此，安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會(huì)從邊框漏進(jìn)高效過濾器風(fēng)口。就算是FFU系統(tǒng)，因天花板上是負(fù)壓，若是邊框有泄漏，日后仍舊會(huì)產(chǎn)生問題。因此，邊框掃描同樣重要。

高效過濾器泄漏測試本質(zhì)上是把挑戰(zhàn)微粒釋放在高效過濾器管道上游，然后在高效過濾器表面與邊框用激光粒子計(jì)數(shù)器或光度計(jì)探測有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。測試方法主要有三種:氣溶膠光度計(jì)測試法、微粒計(jì)數(shù)器測試法、全效率測試法。

一、氣溶膠光度計(jì)測試法

氣溶膠光度計(jì)測試法是最早期的測試方式，因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用。氣溶膠光度計(jì)是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用激光技術(shù)，但是，它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度而不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，用來仿真凈化車間的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。這里“泄漏”的定義是泄漏出上游濃度的萬分之一，由于光度計(jì)可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此，掃描高效過濾器使用非常方便。也正因其準(zhǔn)確度高、可靠，美國FDA規(guī)定，在其管轄范圍內(nèi)（食品加工場所與醫(yī)療制藥場所），所有的高效過濾器泄漏測試必須使用DOP與氣溶膠光度計(jì)。近年來，由于人們懷疑DOP會(huì)導(dǎo)致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。

二、激光粒子計(jì)數(shù)器測試法

半導(dǎo)體業(yè)早期也是使用DOP/PAO與光度計(jì)，但是，隨著制造精密度提高，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在凈化車間里使用，因此開始以干式灰塵為挑戰(zhàn)微粒，在上游釋放，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)進(jìn)一步研究，發(fā)現(xiàn)PSL微粒的粒徑與濃度可以控制，因此成為目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把PSL溶液霧化，導(dǎo)入高效過濾器上游即可。

三、全效率測試法

在某些場所，如袋進(jìn)袋出高效過濾器系統(tǒng)，或是高效過濾器位于風(fēng)管中段（醫(yī)院空調(diào)常用），上游可施放微粒但下游無法掃描，就必須使用全效率測試法。全效率測試法是因其對下游無法掃描，僅能抽取一些空氣樣本做分析比較，若是下游微粒含量超過某定值，則判定為泄漏，要更換整片高效過濾器。這種測試方法的準(zhǔn)確度并不高，因此泄漏的定義值一般要取低一些，以提高準(zhǔn)確度，例如，認(rèn)定上游的0.005％或0.001％為泄漏。盡管如此，其準(zhǔn)確度經(jīng)常受到質(zhì)疑，因此應(yīng)盡量避免。以袋進(jìn)袋出高效過濾器系統(tǒng)而言，高效過濾器安裝后根本不能掃描，最好的方式是安裝前先進(jìn)行全面積掃描，確認(rèn)無破損后，小心安裝，安裝后再做全效率測試，就可減少爭議，至少可以厘清制造商的責(zé)任。