潔凈廠房中的氣體管道是指氣體壓力小于等于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮?dú)?、壓縮空氣、燃?xì)獾纫话銡怏w和高純氣體管道及真空管道，其具體的安裝要求可參考《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-1990）的有關(guān)規(guī)定。

高純氣體是指氣體純度大于等于99.9995％，含水量小于5×10-4％的氣體。

潔凈廠房廣泛用于電子、生物醫(yī)藥、精細(xì)化工、精密機(jī)械、食品、化妝品等產(chǎn)品的生產(chǎn)中，不同產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，對所用高純度氣體的品種、純度，以及氣體中允許的雜質(zhì)濃度或氣體的品質(zhì)要求差異很大。例如半導(dǎo)體工業(yè)，所用氣體品種多，要求特別嚴(yán)格。這里對半導(dǎo)體工業(yè)的高純氣體及其氣體管道做一簡單介紹。

一、半導(dǎo)體集成電路制造用的高純氣體品種

1.按集成電路制造使用分類

（1）普通氣體（又稱大宗氣體）。有H2，N2，O2，Ar，He等。

（2）特種氣體（摻雜、外延、離子注入、刻蝕等），如Si，Sio，Cr，Al，Mo，W等

2.按使用時的危險性分類

（1）可燃、自燃、易燃?xì)怏w。如H2，CH4，H2S，NH3等。

（2）有毒氣體。半導(dǎo)體工業(yè)所用氣體大多數(shù)有毒對人體有害，如PH3，ASH3，B2H6等。

（3）助燃?xì)怏w。此類氣體自身不燃，但與可燃物可燃?xì)怏w接觸時有助燃的作用，如O2，N2O，F2，HF等。

（4）窒息性氣體。此類氣體性質(zhì)穩(wěn)定，不燃，無毒但當(dāng)空氣中氧含量降低到18％時，使人因缺氧而覺呼吸困難，如N2，Ar，CO2，He等。

（5）腐蝕性氣體。此類氣體遇水即呈腐蝕性，但在干燥狀態(tài)時不易腐蝕金屬，如HCl，PCl3，POCl3，HF等。

二、高純氣體的“三度”

所謂的高純氣體“三度”，包括純度、干燥度和潔凈度。

1.氣體純度

氣體純度表示氣體中雜質(zhì)氣體的含量，通常用百分?jǐn)?shù)表示，如99.9999％，也用雜質(zhì)氣體的體積比表示。

2.干燥度

干燥度表示氣體中微量水分的含量，或稱為含濕量，通常用露點(diǎn)表示，如常壓露點(diǎn)一

70℃。

3.潔凈度

潔凈度表示氣體中含有污染物粒子的數(shù)量，粒徑以μm為單位，數(shù)量為pc/m3對壓縮空氣也用不可避免的固體殘留物的多少表示，單位為mg/m3，其中包括了含油量。