由于生產(chǎn)工藝的不同,對空調通風參數(shù)和潔凈度等級的要求也不同,因此,電子廠設計人員首先應該了解各生產(chǎn)工藝的特點。下面華盛興邦就談下電子廠凈化車間潔凈度設計。
電子廠生產(chǎn)工藝分類眾多,有集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),平面顯示器生產(chǎn)(分為LCD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級管,電容,電阻),整機組裝生產(chǎn)(機頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機構)等。
由于生產(chǎn)工藝種類繁多,對潔凈度等級要求也不同,高的很高,低的很低;對粒子粒徑控制的要求也不同,范圍約為0.1~5μm;對溫濕度控制的要求相對較高,如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數(shù)為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基數(shù)為40%(精度±2%±5%);正壓值要求的梯度級別,隨著潔凈度的變化而從高到低變化,差值為5~10Pa。
由于我國電子行業(yè)與國際先進水平差距較大,隨著經(jīng)濟發(fā)展不斷加快,先進技術不斷進入我國。因此,生產(chǎn)工藝技術的更新,可謂日新月異,潔凈工程設計必須要適應這么快的變化節(jié)奏。
電子廠凈化車間設計的冷負荷比其他行業(yè)的凈化車間大很多,單位冷負荷達400~500W/m2很常見。由于冷負荷大,一般情況下,冬季也需要供冷,這是電子行業(yè)的特點。
電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有毒有害氣體種類繁多,且量也大,所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節(jié)能措施也是行業(yè)特點之一,排放前要做處理,使排風符合環(huán)保要求。
電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求,并且大宗氣體和特種氣體種類多,對純度和潔凈度要求高。